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증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
광 센서를 이용한 공정 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
반도체공정에서 발생하는 오염입자 실시간 측정을 위한 광 산란 방식 고효율 진단 시스템 개발 및 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
라디칼 흡착을 사용한 원자층 식각 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
질량분석 기반 반도체 공정 화학반응 실시간 진단기술 및 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Smart Factory Big Data를 활용한 공정 이상 탐지 프로세스 적용 사례 연구
응용통계연구
2021 .02
박막의 공정에 따른 박막의 전자기파 차폐 효과 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질의 안정도 평가
한국분석과학회 학술대회
2023 .05
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질 개발에 관한 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
반도체 공정 스크러버 저감 효율 측정방법 개선을 위한 연구
한국분석과학회 학술대회
2023 .11
초평탄구리(111) 박막 위에 성장된 은(111) 박막의 두께에 따른 쌍결정 경계의 전개
새물리
2023 .10
Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
재사용 가능한 센서를 이용한 전기화학적 E.Coli 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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