Nano-Micro-friction properties of Chemical Vapor Deposited(CVD) Self-assembled monolayers on Si-wafer

Eui-Sung Yoon ,  R.A ,  vind Shingh 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2004 .11

V형 공구를 이용한 Si-wafer의 기계적 가공 시 패턴각도 변화 연구

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .11

전기로를 이용한 Si || SiO/SiN || Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회지

2002 .01

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

50 ㎛ 기판을 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 제조 및 특성 분석

송준용 ,  최장훈 ,  정대영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

웨이퍼 접착 텍스쳐링 방식을 이용한 다결정 실리콘 태양전지 제조

윤석일 ,  노시철 ,  최정호 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

단결정 Si-wafer의 기계가공 시 하중증가속도에 따른 가공 mechanism변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

Wafer final polishing에 따른 표면 현상과 마멸도에 관한 연구

원종구 ,  이정택 ,  황성철 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

최적조건 선정을 위한 Pad 특성과 Wafer Final Polishing의 가공표면에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이상균

한국기계가공학회지

2012 .02

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

The Thermal Stability of the Si-modified Acrylic PSAs on the Si-wafer Pick-up Process

권영은 ,  이승우 ,  박지원 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

단결정 Si-wafer 의 기계가공 시 절삭속도에 따른 가공 mechanism 변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05