Lost Motion Analysis for Nonlinearity Identification of a 6-DOF Ultra-Precision Positioning Stage

신현표; 문준희

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신현표 (동양미래대학교) 문준희 (유한대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.32 No.3

발행연도: 2015.3

수록면: 263 - 268 (6page)

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This paper describes lost motion analysis for a novel 6-DOF ultra-precision positioning stage. In the case of flexure hinge based precision positioning stage, lost motion is generated when the displacement of actuator is not delivered completely to the end-effector because of the elasticity of flexure hinge. Consequently, it is need to compute amount of lost motion to compensate the motion or to decide appropriate control method for precision positioning. Lost motion analysis for the vertical actuation unit is presented. The analysis results are presented in two ways: analytic and numerical analyses. It is found that they closely coincide with each other by 1% error. In finite element analysis result, the amount of lost motion is turned out to be about 3%. Although, the amount is not so large, it is necessary procedure to check the lost motion to establish the control method.

#Flexure hinge (플렉셔 힌지) #Parallel mechanism (병렬 기구) #Lost motion (로스트 모션) #Ultra-precision (초정밀) #Positioning stage (위치 결정 스테이지)

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

Yang, R. / 1996 / Design and Characterization of a Low-Profile Micropositioning Stage / Precision Engineering 18(1):20~29

Chen, M. -Y. / 2011 / Design and Implementation of a New Six-Dof Maglev Positioner with a Fluid Bearing / IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 16(3):449~458

Chang, S. / 1998 / A Precision Piezodriven Micropositioner Mechanism with Large Travel Range / Review of Scientific Instruments 69(4):1785~1791

Yao, Q. / 2007 / Design, Analysis, Fabrication and Testing of a Parallel-Kinematic Micropositioning XY Stage / International Journal of Machine Tools and Manufacture 47(6):946~961

문준희 / 2009 / 초정밀 구동을 위한 6자유도 스테이지의 설계와 모델링 / 한국정밀공학회지 26(6):106~113

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