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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
468 - 472 (5page)

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In this paper, the static and dynamic stiffness of the air bearing stage for micro-micro machine tool are examined experimentally. For stiffness and precision concerns, air bearing stages are adapted for 3-axis micro-milling machine which is size of 200×200㎟. The air bearings in the stage are preloaded by permanent magnets to achieve desired bearing clearance and stiffness for vertical direction. As the stiffness of the air bearing is primary interests, static stiffness test were performed on XY stage in Z direction and Z column in Y direction. Dynamic test were performed on XY stage and Z column, respectively. Both static and dynamic tests were performed in different air pressure conditions. The vertical stiffness of XY stage is about 9 N/㎛ where Y stiffness of Z column is much smaller as 1 N/㎛ because of the large moment generated by Y force on the column.
#Micro machine tool #Air bearing Stage #Magnetically preloaded air bearing #Stiffness #Natural frequency

목차

Abstract
1. 서론
2. 공기베어링을 이용한 Milling Machine
3. 공기베어링 스테이지 정, 동적 특성 측정
4. 결론
후기
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