300mm Wafer시대의 기술전망과 과제

조상준

공기청정기술

1999 .01

산화막CMP의 연마균일도 향상을 위한 웨이퍼의 에지형상제어

최성하 ,  정호빈 ,  박영봉 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2012 .03

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

클린튜브 시스템의 웨이퍼 운동 제어

신동헌 ,  최철환 ,  정규식

설비공학논문집

2004 .05

차세대 300mm Wafer 반송 시스템

조상준

공기청정기술

2001 .01

웨이퍼의 에지 형상 제어를 통한 연마 균일도 향상

최성하 ,  정호빈 ,  박영봉 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

450mm 웨이퍼검사용 nm 급 초정밀스테이지의 설계 및 제작

최동수 ,  조규중 ,  김경록

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

CMOS Wafer Process Employing P or N Well

Akifumi Kasamatsu ,  Kazushige Ayukawa ,  Bom Yun Kim 외 1명

대한전자공학회 세미나

1991 .01

Wafer-Scale CSP USING WAFER SCALE ASSEMBLY TECHNOLOGY

Kang ,  D.B. ,  Yoon 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

다구찌 방법에 의한 12인치 웨이퍼 폴리싱의 가공특성에 관한 연구

최웅걸 ,  최승건 ,  신현정 외 1명

한국기계가공학회지

2012 .12

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진 ,  최성주 ,  이우영 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01