A Control Algorithm for 300mm Wafer Edge Exposure Process

Honglae Pa ,  k ,  Joon Lyou

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

차세대 300mm Wafer 반송 시스템

조상준

공기청정기술

2001 .01

ITS의 발전 전망과 과제

박종헌

전자공학회지

2001 .05

450mm 웨이퍼검사용 nm 급 초정밀스테이지의 설계 및 제작

최동수 ,  조규중 ,  김경록

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

Wafer-Scale CSP USING WAFER SCALE ASSEMBLY TECHNOLOGY

Kang ,  D.B. ,  Yoon 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

다구찌 방법에 의한 12인치 웨이퍼 폴리싱의 가공특성에 관한 연구

최웅걸 ,  최승건 ,  신현정 외 1명

한국기계가공학회지

2012 .12

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

‘살기 좋은 지역 만들기’는 시대적 과제다 / 알아야 할 것과 몰라도 될 것

박철수

건축과사회

2006 .12

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

300mm wafer cassette 반송용 이동 로봇

성학경 ,  한용섭 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

Thin Wafer를 이용한 Triple direct bonding에 관한 연구

이현기 ,  정호필 ,  윤상기 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진 ,  최성주 ,  이우영 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06