Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

A Non-Contact Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers with Absorption Edge Wavelength

Toh ,  u Iuchi ,  Ryo Shinagawa

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2008 .10

Non-contact Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers

Yoshikazu Ikeda ,  Toh ,  u Iuchi

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Bipolar Silicon Wafer Processing

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

An Emissivity-Invariant Condition of Silicon Wafers and Its Application to Radiation Thermometry

Toh ,  u Iuchi ,  Atsushi Gogami

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2009 .08

Temperature Monitoring of Silicon Wafer Surface Exposed to Plasma Discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

배수용 부직포 복합재료의 수평투수성에 미치는 압축응력의 영향

전한용 ,  이승구

한국섬유공학회지

1999 .01

Micro-scale Thermal Sensor Manufacturing and Verification for Measurement of Temperature on Wafer Surface

Kim ,  JunYoung ,  Jang 외 5명

반도체디스플레이기술학회지

2013 .01

450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사

김성일 ,  우태기 ,  김춘근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

A wafer surface temperature measurement method utilizing the reordering phenomena of amorphous silicon (The REAL method)

Kazuaki Yamazawa ,  Masa ,  u A 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

A Study of Droplet Transmissivity Change by Characteristic of Mesh

박진영 ,  황운봉

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .06

12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 가공 특성에 관한 연구

최웅걸 ,  김성현 ,  최승건 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2012 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

A Study on the Characteristics of a Wafer-Polishing Process according to Machining Conditions

Jung-Taik Lee ,  Jong-Koo Won ,  Eun-Sang Lee

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2009 .01

Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer

홍순천 ,  윤석민 ,  우봉주 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Silicon wafer상에 초고집적회로 형성을 위한 무전해 구리 도금 연구

최경수 ,  민봉기 ,  최순돈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05