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자료유형
학술저널
저자정보
Kim, JunYoung (Department of Mechatronics Engineering, Korea University of Technology and Education) Jang, KyungMin (Department of Mechatronics Engineering, The Graduate School of Korea University of Technology and Education) Joo, KangWo (Department of Mechatronics Engineering, The Graduate School of Korea University of Technology and Education) Kim, KwangSun (Department of Mechatronics Engineering, Korea University of Technology and Education)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제12권 제4호
발행연도
2013.1
수록면
39 - 44 (6page)

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In the semiconductor heat-treatment process, the temperature uniformity determines the film quality of a wafer. This film quality effects on the overall yield rate. The heat transfer of the wafer surface in the heat-treatment process equipment is occurred by convection and radiation complexly. Because of this, there is the nonlinearity between the wafer temperature and reactor. Therefore, the accurate prediction of temperature on the wafer surface is difficult without the direct measurement. The thermal camera and the T/C wafer are general ways to confirm the temperature uniformity on the heat-treatment process. As above ways have limit to measure the temperature in the precise domain under the micro-scale. In this study, we developed the thin film type temperature sensor using the MEMS technology to establish the system which can measure the temperature under the micro-scale. We combined the experiment and numerical analysis to verify and calibrate the system. Finally, we measured the temperature on the wafer surface on the semiconductor process using the developed system, and confirmed the temperature variation by comparison with the commercial T/C wafer.
#TFTC #Micro-scale Sensor #Numerical Analysis #CFD

목차

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참고문헌 (9)

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Buol, D. A. / 1984 / High-temperature wafer prober predicts yield problems early / Electronics Letters 57(9):141~144 google schola Gad-el-Hak Mohamed / 2006 / MEMS Applications / CRC Press :125~160 google schola Martin, L. C. / 1994 / Applications of Thin Film Thermocouples for Surface Temperature Measurement google schola Tai-Ran Hsu / 2008 / MEMS and Microsystems / Wiley google schola Il Young Han / 2005 / Study on the Heat Transfer Phenomena for Flow and Temperature Sensors google schola

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