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Effect of Plasma Treatment to Surface of the Titanium Oxide Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
결점 필터링 개념 기반 품질관리 노력 추정 모델
한국컴퓨터정보학회논문지
2012 .06
플라즈마 표면 처리를 이용한 TiO<sub>2</sub> MOS 커패시터의 특성 개선
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
Ru(EtCp)2 전구체를 이용한 PEALD Ru 공정 최적화에 관한 연구
한국분말야금학회지
2013 .01
The Effects of Etch Chemicals on the Electrical Properties of Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Device with Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited (PEALD) TiN Metal Electrode
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
고체 산화물 연료전지의 연료극에 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 루테늄의 응용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
반도체 결점의 성장 모형을 이용한 신뢰도 추정
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2009 .10
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
PLASMA EFFECTS ON HUMAN LIVER CANCER CELLS
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
Plasma-assisted atomic layer deposition에 의해 증착된 알루미늄 산화막의 열처리 후 효과
한국에너지학회 학술발표회
2013 .05
PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
섬유의 Plasma 가공(Ⅰ) : plasma 처리화학
한국염색가공학회지
1991 .09
COMPARISON OF PLASMA-INDUCED SURFACE DAMAGES IN VARIOUS PLASMA SOURCES
한국표면공학회지
1996 .10
Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
[ETRI] ETRI Journal
2005 .02
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