Electrical and Structural Properties of Lanthanum Hafnium Oxide (LHO) Films Deposited by ECR Atomic Layer Deposition

Sang-Kyun Pa ,  k ,  Woong-Sun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Properties of lanthanum oxide deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

Kang ,  Byung-Woo ,  Kim 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

The Effects of Etch Chemicals on the Electrical Properties of Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Device with Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited (PEALD) TiN Metal Electrode

김영진 ,  한훈희 ,  임동환 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

PEALD로 저온증착시킨 지르코니아 박막의 특성분석

노승탁 ,  조구영 ,  이윤호 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

Effect of Plasma Treatment to Surface of the Titanium Oxide Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

원자층 증착 박막을 활용한 고성능 산화물 전해질 제작

안지환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

플라즈마 원자막 증착기를 이용한 지르코니아 박막 증착 및 특성 평가

조구영 ,  차석원 ,  노승탁 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

산소 플라즈마를 이용하여 원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 형성된 하프늄 옥사이드 게이트 절연막의 특성 연구

조승찬 ,  전형탁 ,  김양도

한국재료학회지

2007 .01

Influence of In-Situ Molecular Oxygen Incorporation On Electrical Property of Atomic Layer Deposited Zinc Oxide Thin Films

Soumyadeep Sinha ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

Influence of the O/Al ratio on the properties of Al₂O₃ barrier layers deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

이종걸 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .10

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

고체 산화물 연료전지의 연료극에 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 루테늄의 응용

계승현 ,  김형준 ,  고도현 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

박막 고체산화물 연료전지를 위한 PEALD YSZ 기반 이중층 전해질

유원종 ,  차석원 ,  조구영 외 6명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

The preferred (200) orientation tetragonal phase of $HfO_2-Al_2O_3$ thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

문형석 ,  주대권 ,  박판귀 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

Titanium Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition as Bipolar Plate for Proton Exchange Membrane Fuel Cell

Woojae Lee ,  Eun-young Yun ,  So-won Pa 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11