ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt

김재민 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Effect of Plasma Treatment to Surface of the Titanium Oxide Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구

권기청 ,  조태훈 ,  최진우 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications

Kim ,  Woo-Hee ,  Lee 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .12

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoO_x film의 특성

임태완 ,  장효식

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte

지상훈

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2019 .05

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Customized Thermal ALD (Atomic Layer Deposition) System 을 이용한 TiO₂ 박막 증착

박석원 ,  손경식 ,  김준우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .11

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

이산화 티타늄 위에서의 원자층 증착법 백금의 성장 특성

김현구 ,  이한보람

한국표면공학회지

2015 .04

$H_2O$ plasma를 이용한 $SrTiO_3$ Atomic Layer Deposition

권오성 ,  김성근 ,  황철성 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07