원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

ALD방법으로 ZnO 나노와이어에 코팅된 Al₂O₃ 박막

황주원 ,  김기현 ,  강명일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석

성석제 ,  김동진 ,  배영호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석

최종완 ,  최영민 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가

권세훈 ,  정성준 ,  정영근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

금속 박막위에 ALD법으로 형성된 Al₂O₃ 박막의 계면 특성과 MIM capacitor의 제조

남상완 ,  고성용 ,  정영철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al2O3 막의 패시베이션 효과 향상 연구

송세영 ,  강민구 ,  송희은 외 1명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Silane 기반 유기물을 이용한 ALD Al₂O₃ 박막의 열화방지

권정현 ,  정성훈 ,  이승훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제

임하진 ,  강상열 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성

이호근 ,  배수민

Progress in superconductivity

2009 .01

PZT 박막에서의 $Pb_2RU_2O_{7-x}$ 전도성 계면층의 영향

류성남 ,  성낙진 ,  윤순길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Study of Thickness Estimation for the Interfacial Layer of TiO₂ ALD films

Gye-Choon Pa ,  k ,  Seung-Hee Yu 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구

김영길 ,  이재의 ,  조성준 외 1명

공업화학

1994 .01