Rf-sputtering법으로 증착한 PZT박막의 타겟의 Pb 함량에 따른 전기적 특성에 관한 연구

강현일 ,  박영 ,  박기엽 외 2명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

이차이온질량분석기를 이용한 PZT 박막의 후열처리 온도에 따른 특성에 관한 연구

심등 ,  이태용 ,  이경천 외 4명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석

최종완 ,  최영민 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Ru/RuO2 전극에 성장한 PZT 박막의 특성에 관한 연구

강현일 ,  최장현 ,  박영 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가

권세훈 ,  정성준 ,  정영근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Multi-coating법으로 제조된 두꺼운 PZT막의 두께 변화에 따른 미세구조 및 전기적 특성

박준식 ,  장연태 ,  박효덕 외 2명

한국재료학회지

2002 .01

PZT 박막 캐퍼시터의 특성에 기여하는 PZT-전극계면층의 영향

김태호 ,  구준모 ,  민형섭 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제

임하진 ,  강상열 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

PZT-5A 탐촉자의 특성 분석

김철수 ,  김상수 ,  송준태 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

SrRuO3 전극 박막 위에 증착된 PZT 박막의 구조 및 강유전 특성

이명복

전기전자재료학회논문지

2016 .01

RF-마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이층형 PZT의 특성평가

임실묵

한국산학기술학회 논문지

2020 .08

PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구

송한욱 ,  홍종인 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성

이호근 ,  배수민

Progress in superconductivity

2009 .01

하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구

박영 ,  정규원 ,  임승혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07