원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

신경망모델을 이용한 SiN 박막의 수명 시간 모델

이수진 ,  김병환 ,  우형수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

펄스레이저를 이용한 박막 증착

김호성

전기의세계

1993 .06

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 증착

은동석 ,  박정흠 ,  이상렬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 구리배선용 텅스텐 나이트라이드 확산 방지막의 특성평가

박지호 ,  심현상 ,  김용태 외 2명

한국산학기술학회 학술대회논문집

2004 .11

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

굴절률 가변에 따른 silicon nitride 박막의 항온/항습 신뢰성 연구

송규완 ,  장주연 ,  이준신

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

신경망을 이용한 펄스드 이온에너지의 SiN 표면 거칠기에의 영향 모델링

이화준 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

직접이온빔으로 증착된 Carbon Nitride 박막의 기판개질 효과에 대한 연구

이덕연 ,  김용환 ,  최동준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

임호병 ,  김동선 ,  이기선

한국자원리싸이클링학회 심포지엄

2003 .01

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

질소 가스 분위기에서 증착된 실리콘 질화막의 전기적, 광학적 특성 분석

공대영 ,  정우원 ,  양두환 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .11

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12