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손지훈 (한국해양대학교) 성효성 (한국해양대학교) 김우성 (한국해양대학교) 장낙원 (한국해양대학교)
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한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집 한국마린엔지니어링학회 2010년도 공동학술대회 논문집
발행연도
2010.4
수록면
523 - 524 (2page)

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In this paper, we have investigated about MgZnO thin films on Si(100) substrate by RF magnetron co-sputtering system. MgZnO thin films were affected by RF input power of each target, gas pressure, gas composition, and substrate temperatures. So, we focused on most effective RF input power of each target in depositio ... 전체 초록 보기
#AFM #EDS #MgZnO #Power #co-sputtering

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