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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 717 - 722 (6page)
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본 실험에서는 산소 분압 변화에 따른 Mg0.5Zn0.5O 박막의 구조적, 결정학적 특성을 고찰하였다. PLD 증착법을 사용하여 p타입 Si 기판위에 Mg0.5Zn0.5O 박막을 성장시켰다. X-선 회절분석 및 EDS 측정 결과 산소분압이 증가 할수록 박막내의 Mg 함유량이 감소함을 알 수 있었다. 또한 결정 구조적 측면으로 입방정 구조에서 육방정 구조로 상이 변화함을 알 수 있었다. 접촉식 박막두께 측정기 및 원자 현미경 측정 결과 박막의 두께는 100 nm 였으며, 산소분압이 증가 할수록 박막은 c-축 우선 배향 성장하여 결정립들이 주상 구조로 성장 되었으며 박막의 입자크기 및 거칠기 또한 증가함을 알 수 있었다.
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