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3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP Conditioner의 Diamond 크기, 배열, 형상 변화가 Pad Conditioning 공정에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Diamond의 접촉 조건에 따른 Polyurethane pad의 마모특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
CMP 공정용 다이아몬드 컨디셔너의 배열과 마찰신호의 상관관계에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
마이크로 표면 구조물을 갖는 CMP 패드 제작 기술 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
표면거칠기 값을 이용한 CMP 패드 미세형상 간소화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Advanced Pad Conditioner Design for Oxide/Metal CMP
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2006 .01
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
패드의 점탄성 거동이 마이크로 패턴 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
CMP 컨디셔너의 다이아몬드 입자 모양이 연마 패드 표면 형상 제어에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2019 .12
Cu CMP에서 첨가제가 Polishing에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP Pad 표면 변화를 통한 초기 Polishing 특성 향상
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
폴리싱 정반용 다이아몬드 펠렛의 성능평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2009 .11
CMP 공정에서 입자-패드간 다양한 접촉상황에 대한 시뮬레이션 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
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