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저자정보
서상훈 (한국과학기술원) 이헌수 (한국과학기술원) 이윤성 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
409 - 409 (1page)

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