R.F. 스퍼터링을 이용한 Cu<SUB>x</SUB>N 박막의 증착 및 펜타센 반도체 소자에서의 소스/드레인 전극 특성 분석

윤동진; 임상훈; 이시우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤동진 (포항공과대학교) 임상훈 (포항공과대학교) 이시우 (포항공과대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.8

수록면: 81 - 81 (1page)

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소속기관 포항공과대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003925931

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대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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