HCM(hollow cathode magnetron sputtering) 방식으로 증착한 titanium박막의 특성연구

최효직; 고대홍; 최시영; 최승만

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최효직 고대홍 최시영 최승만

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 63 - 63 (1page)

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