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실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
MOCVD Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유기물 자동 공급 시스템을 이용한 유기 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
스퍼터법으로 증착된 ITO / Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
유기금속화학증착법에 의하여 실리콘 기판위에 성장된 양질의 GaP 형성기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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