Multiple Hole Electrode를 이용한 RF CCP에서의 홀 디자인에 관한 연구

이헌수; 이윤성; 장홍영

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저자정보: 이헌수 (한국과학기술원) 이윤성 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 437 - 437 (1page)

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