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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
양원균 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
256 - 256 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

300㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 안테나에 의한 플라즈마 균일도 모델링
양원균 ,  주정훈 ,  남창길 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.11 학술대회자료
450 ㎜ 웨이퍼 공정용 System의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 균일도 모델링 분석
양원균 ,  주정훈 Applied Science and Convergence Technology 2010.05 학술저널
450㎜ 웨이퍼 공정용 system의 기하적 구조에 따른 플라즈마 균일도 수치 모델링
양원균 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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