Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Chang Hoon Song ,  Won Kyun Yeom ,  Doo San Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Atomic Layer Deposition of Cobalt Oxide Thin Films for Lithium-ion Battery

박재민 ,  임완규 ,  한별 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Atomic Layer Deposition for Display Applications

Jin-Seong Pa ,  k

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Synthesis of Cobalt Oxide Film by Thermal Decomposition for Potential Various Applications

Seong Ho Han ,  Bo Keun Pa ,  k 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰

정민지

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Properties of cobalt thin films deposited by PEALD using very high frequency (60 and 100 MHz)

박준모 ,  염원균 ,  송창훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Hafnium oxide thin films by atomic layer deposition using a novel Hf metallorganic precursor

Seungmin Yeo ,  Ga Yeon Lee ,  Taeyong Eom 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Optimizing the Cobalt Deposition Condition using the Experiment Design

정성희 ,  송오성

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .12

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Electrical Properties of Copper Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Byung Kook Lee ,  Jae Ki Min ,  Sun Sook Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Study of CO Oxidation on Bare and TiO₂-coated NiO/Ni(OH)₂

Jong Won Nam ,  Kwang-Dae Kim ,  Dong Wun Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification

Jiwon Oh ,  Heesu Hwang ,  Seungmuk Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Ham Cho Rom Cha ,  Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characteristics of low temperature cobalt thins films deposited by VHF PEALD (60 and 100 MHz)

Won Kyun Yeom ,  Chang Hoon Song ,  Geun Young Yeom

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

ALD(Atomic Layer Deposition)를 이용한 전하선택접촉박막MoOx의 패시베이션 특성 및 HIT cell 적용

정민지 ,  장효식

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08