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Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
CO oxidation catalyzed by NiO/mesoporous Al2O3
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Encapsulation Layer by Atomic Layer Deposition and Molecular Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Precise control of electronic properties of graphene using n-doping method via atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
The effect of back electrode on electric properties of SnS thin film using atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질 개발에 관한 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질의 안정도 평가
한국분석과학회 학술대회
2023 .05
The Study of interface of In₂O₃ grown by atomic layer deposition (ALD) using Et₂InN(TMS)₂ as In precursor on Si(100)
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Novel organic-inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Hafnium oxide thin films by atomic layer deposition using a novel Hf metallorganic precursor
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Thin Film Encapsulation with Organic-Inorganic Nano Laminate using Molecular Layer Deposition and Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Wafer scale well-connected CVD-grown graphene grains by using selective atomic layer deposition of ZnO
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Layer-by-layer deposition of chemical-vapor-deposition-grown graphenes
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
The diagnosis of Al2O3 atomic layer deposition using quadrupole mass spectrometry and characterization
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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