Characterization of the Interface & ZrO₂ film fabricated by Atomic Layer Deposition method

박윤백 ,  연태원 ,  최민기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

UV - enhanced Atomic Layer Deposition(ALD) of TiO₂Thin Films

권용준 ,  장영진 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

UV-enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Film

윤관혁 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition

김경문 ,  윤순길 ,  정낙관

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Multilayer barrier film fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

Chang-Kyu Jin ,  Do-Kyung Hwang ,  Tae-Hwan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films

C.T.T.Huong ,  Myung Mo Sung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Hybrid organic-inorganic thin film transistors with visible-light absorption by using combination molecular layer deposition and atomic layer deposition

N.V.Long ,  Myung Mo Sung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Low - temperature atomic layer deposition of AlN thin films using plasma interactions

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Deposition and Characterization of $Al_2O_3$ Thin Film by Aerosol Deposition

Cho ,  Hyun-Min ,  Kim 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Layer-by-layer deposition of chemical-vapor-deposition-grown graphenes

Daeyoon KIM ,  Jeong Kyun NOH ,  Jae-Hee HAN

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰

정민지

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Study of SrTiO₃ for Dielectric Thin Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

임찬중 ,  임동혁 ,  마진원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성 비교

강고루 ,  차덕준 ,  김진태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Chang Hoon Song ,  Won Kyun Yeom ,  Doo San Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08