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액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
10mtorr 이하, 400도 이하 저온 박막 증착을 위한 액상 전구체 공급 장치 및 이를 이용한 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
첨단 재료를 위한 새로운 금속 전구체 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe1-xCrx/Cu/Co
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga1-xPbxSr₂Y1-yCayCU₂O₇ (x=0.0 to 0.6 & y=0.0 to 0.5)
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
XPS를 이용한 Cu / Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
RDS를 의한 Cu(110)와 산소가 흡착된 Cu(110) 표면에 Cu의 성장 모드
Applied Science and Convergence Technology
2006 .01
수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
오존에 의한 전구체와 혼입제의 화학적 활성화
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
XPS를 이용한 Cu / Polyimide의 계면에 관한 연구 : 고온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(Ⅱ)
Applied Science and Convergence Technology
1998 .05
Cu 배선 공정의 electroplating 공정을 위한 Cu 씨앗층의 원자층 증착 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Effect of the Cu Bottom Layer on the Optical and Electrical Properties of In₂O₃/Cu Thin Films
Applied Science and Convergence Technology
2011 .09
Cu2ZnSnS4 박막 및 소자 특성에 대한 전구체에 Zn 또는 ZnS 타겟을 사용 했을 때의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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