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액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
10mtorr 이하, 400도 이하 저온 박막 증착을 위한 액상 전구체 공급 장치 및 이를 이용한 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
전해도금을 위한 ALD Cu seed와 PVD Cu seed의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
MIM capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 ALD - Al₂O₃ 박막 증착과 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
첨단 재료를 위한 새로운 금속 전구체 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe1-xCrx/Cu/Co
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga1-xPbxSr₂Y1-yCayCU₂O₇ (x=0.0 to 0.6 & y=0.0 to 0.5)
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
Effect of deposition temperature and thickness on surface properties of ALD TiO₂ films
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Non-volatile Memory Behaviors of Al₂O₃/Cu/Al₂O₃ Multi-layers prepared by ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Characterization of Al2O3 Thin Film Encasulation by Plasma Assisted Spatial ALD Process for Organic Light Emitting Diodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
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