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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집
발행연도
2004.2
수록면
37 - 37 (1page)

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2005

CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구
윤주영 ,  신용현 ,  정광화 Applied Science and Convergence Technology 2005.09 학술저널

2004

화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
윤주영 ,  안봉영 ,  김정형 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

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반도체 화학증착용 전구체 양산 적용을 위한 진공공정 평가방법 연구
안종기 ,  신진호 ,  차덕준 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 .02

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