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화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 화학증착용 전구체 양산 적용을 위한 진공공정 평가방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
오존에 의한 전구체와 혼입제의 화학적 활성화
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
10mtorr 이하, 400도 이하 저온 박막 증착을 위한 액상 전구체 공급 장치 및 이를 이용한 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
첨단 재료를 위한 새로운 금속 전구체 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
분석화학과 나
분석과학
1993 .03
열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
증착조건 변화에 따른 화학증착 알루미나 휘스커의 성장 및 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
RGA를 이용한 CVD전구체의 분석 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
단일 원료를 이용한 MgO의 화학 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
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