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RF 마크네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 SrTiO₃ 박막의 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
1996 .12
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
상온 증착된 ITO 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
MIM capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 ALD - Al₂O₃ 박막 증착과 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
RF - Magnetron Sputtering에 의하여 ITO 유리 위에 성장된 SrTiO₃ 박막의 열처리 특성
Applied Science and Convergence Technology
2001 .12
커버글라스 기판 위 ALD 성장시킨 TiO₂ 박막의 질화 과정에 따른 물리적 특성의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Impedance-Based Characterization of 2-Dimenisonal Conduction Transports in the LaAlO₃/SrxCa1-xTiO₃/SrTiO₃ systems
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
원자층 증착기구(ALD)를 이용한 Zirconia / Titania 다층 박막의 Gate Oxide용 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
PLD 법으로 성장시킨 Pr0.7Ca0.3MnO₃/SrTiO₃ 박막의 냉각 방법에 따른 결정 구조와 Strain 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO₃ 박막의 계면 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
FVA증착법에 의해 합성된 Ta-C 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
고압의 H₂ 가스 열처리에 따른 원자층 증착 HfO₂ 박막의 특성 연구
한국자기학회지
2005 .10
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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