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Preparation of Al₂O₃/NiO/Al₂O₃ Multi-layer Films for Nano-Floating Gate Memory by ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
UV-enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Film
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
ALD법으로 제조된 Al₂O₃막의 유전적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
Reduction in volume contraction of amorphous-Al₂O₃ by advanced ALD technique
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Effective surface passivation of crystalline silicon by ALD Al₂O₃
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Characterization of Al2O3 Thin Film Encasulation by Plasma Assisted Spatial ALD Process for Organic Light Emitting Diodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
The Al₂O₃ Passivation Mechanism for c-Si Surface Deposited by ALD Using O₃ Oxidant
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
마그네트론 스퍼터링을 이용한 Al과 Al-Si 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
빗각을 이용한 Al과 Al-Si 박막의 제조 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
전해도금을 위한 ALD Cu seed와 PVD Cu seed의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Al, Al - 1%Si, Ag, Cu 박막금속화에서의 SiO₂ Passivation 효과.
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Molecular dynamics investigation to identify Al atomic behavior on various Cu surfaces
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
결정질 실리콘 태양전지 적용을 위해 PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Characteristics of Al₂O₃/TiO₂ multi-layers as moisture permeation barriers deposited on PES substrates using ECR-ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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