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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제6호
발행연도
2007.11
수록면
468 - 473 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2009

Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
TDMAT precursor를 이용한 MOCVD 증착 공정 중 발생하는 오염입자 실시간 측정에 관한 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

2007

저압공정 중 발생하는 나노입자 실시간 측정장비에 관한 연구
나정길 ,  조대근 ,  최재붕 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2007.11 학술저널
저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구
나정길 ,  조대근 ,  최재붕 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 저압환경에서 실시간으로 나노입자를 측정할 수 있는 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)의 개발에 대해 서술하였다. 개발된 PBMS의 교정을 위해 NaCl입자를 사용하였다. DMA(Differential Mobility Analyzer)를 통해 ＋1가로 하전된 입자를 1 lpm 발생시켜 그 중 0.086 lpm을 PBMS 입구의 오리피스를 통해 분기하여 유입시켰다. DMA와 PBMS의 전류값을 비교하여 전송효율을 측정한 결과 입자의 크기에 따라 약 50~60%를 나타내었다. 또한 DMA에서 특정한 크기의 입자를 발생시켜 PBMS로 측정하였으며 그 결과는 입자크기별 농도분포와 잘 일치함을 확인할 수 있었다.
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목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. PBMS 작동원리 및 이론
Ⅲ. PBMS Calibration
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Friedlander, S. K / 2000 / Smoke, dust, and haze：Fundamentals of aerosol behavior, 2nd ed : 317 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Nijhawan, S / 1999 / Mechanical Engineering in University of Minnesota google schola

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