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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집
발행연도
2006.2
수록면
190 - 190 (1page)

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2006

대향타겟식 스퍼터링법으로 제작된 ITO박막의 특성
금민종 ,  김현웅 ,  김경환 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

2005

대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 제작
금민종 ,  추순남 ,  최명규 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

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대향타겟 스퍼터링법으로 증착한 AZO 투명전도성 필름
장혜영 ,  최인규 ,  김상호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015 .11
대향타겟식 스터터를 이용한 ITO박막의 산소 가스의 유량에 따른 효과
김연준 ,  진수봉 ,  김성일 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008 .08
플라즈마 구속식 대향타겟 스퍼터 장치의 제작
손인환 ,  금민종 ,  공석현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 1998 .11
대향타겟스퍼터링장치에 의해 증착된 ZnO 박막의 결정화적 특성
금민종 ,  성하윤 ,  공석현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 1999 .11
대향타겟스퍼터링으로 제작된 박막의 결정 배향성
김경환 ,  손인환 ,  김명호 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998 .05

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