Relation between CN radical behaviors and growth of amorphous CNx films in an RF magnetron sputtering system

노기민 ,  최시경 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Effect of the working pressure on hydrogenated bonding and chemical structure during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

Kimin Roh ,  Si kyung Choi ,  Shin Jae You 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Effect of pressure on the chemical composition and structure of carbon nitride film deposited by RF magnetron sputtering

Kimin Roh ,  Byung-Keun Na ,  Si-Kyoung Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Characterization of CNx thin films by the gas effusion technique

Daeyoung Kim ,  Minseok Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Growth of nitride semiconductors on oxide templates by rf-magnetron sputtering

나현석 ,  정상용 ,  성태연

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Deposition of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Characterization of Their Properties on Different O₂ Concentrations

S. H. Jeong ,  Y. S. Shin ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Chromium nitride coating by inductively coupled plasma-assisted RF magnetron sputtering

장호성 ,  김유성 ,  최대한 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Properties of CNx Nanofibers synthesized by dc Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition

양지훈 ,  염민형 ,  류동헌 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Deposition of ZrO₂ thin films using RF magnetron sputtering and characterization of their physical properties on different O₂ concentrations

Y. S. Shin ,  S. H. Jeong ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Deposition of carbon nitride thin films by using radical source

노기민 ,  최시경 ,  유신재 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02