Effect of pressure on the chemical composition and structure of carbon nitride film deposited by RF magnetron sputtering

Kimin Roh ,  Byung-Keun Na ,  Si-Kyoung Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 비정질 산화물 반도체 IGZO 박막의 특성

진창현 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Growth of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Study of Their Surface Characteristics

Yong Sup Sin ,  In Seob Bae ,  Hyon Tae Kwak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Chromium nitride coating by inductively coupled plasma-assisted RF magnetron sputtering

장호성 ,  김유성 ,  최대한 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Effect of the working pressure on hydrogenated bonding and chemical structure during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

Kimin Roh ,  Si kyung Choi ,  Shin Jae You 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

비정질 산화물 반도체 IGZO 박막의 특성 연구

장야쥔 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Effect on the CNx molecular behavior in N₂ plasma during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  최시경 ,  김정형

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02