Effect of annealing temperature on Al2O3 layer for the passivation of crystalline silicon solar cell

Yoon Chung Nam ,  Kyung Dong Lee ,  JaeEun Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

The Al₂O₃ Passivation Mechanism for c-Si Surface Deposited by ALD Using O₃ Oxidant

조영준 ,  장효식

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2013 .08

Influence of KOH Solution on the Passivation of Al2O3 Grown by Atomic Layer Depostion on Silicon Solar Cell

조영준 ,  장효식

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2013 .08

Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al₂O₃ films with surface treatment

Ham Cho Rom Cha ,  Hyo Sik Chang

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2018 .02

Surface passivation and tunneling effects enabled by atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Hamcho ,  om CHA ,  Young Joon CHO 외 1명

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2016 .08

Effects of Annealing of Al2O3 Layer on Passivation Properties by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition

송세영 ,  장효식 ,  송희은

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2013 .02

Analysis of Post Oxidation Anneal on Silicon wafer Surface Passivation qualities in crystalline Silicon Solar Cells

정성윤 ,  Naga ,  ajan Balaji 외 4명

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2015 .02

Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature

윤관혁 ,  성명모

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2014 .08

Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al₂O₃ 패시베이션막 특성

현지연 ,  김재은 ,  이경동 외 3명

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2017 .02

The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Ham Cho Rom Cha ,  Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

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2017 .02

Comparing the Passivation Quality of Ozone and H2O Oxidant of Atomic Layer Deposited Al2O3 by Post-annealing in N2 and Forming Gas Ambients for Passivated Emitter and Rear Cell (PERC)

Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

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2014 .02

SURFACE PASSIVATION AND ANNEALING EFFECT

현지연 ,  배수현 ,  이창현 외 2명

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2020 .02

Degradation mechanism and enhancement solutions for field-effect passivation in nanostructured Si solar cells

Tae Joo Pa ,  k

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2017 .08

InGaN/GaN Blue LED device 제조시 ALD (Atomic Layer Deposition) 방법으로 증착된 Al2O3 Film의 Passivation 효과

이성길 ,  방진배 ,  양충모 외 2명

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2010 .08

새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장

조원태 ,  성기환 ,  이선숙 외 3명

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2003 .02

ALD를 이용하여 살펴본 CdSe/CdS Quantum Dot-sensitized Solar Cell에서의 TiO2 Passivation 효과

박진주 ,  이승협 ,  설민수 외 1명

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2011 .08

Rear Surface Passivation with Al2O3 Layer by Reactive Magnetron Sputtering for High-Efficiency Silicon Solar Cell

Sunwoo Moon ,  Eunkyeom Kim ,  Won-Woong Pa 외 5명

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2012 .02

Effect of deposition temperature and thickness on surface properties of ALD TiO₂ films

장영문 ,  양병찬 ,  신정우 외 2명

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2017 .02

Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories

Cheol Seong Hwang

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2013 .08

Non-volatile Memory Behaviors of Al₂O₃/Cu/Al₂O₃ Multi-layers prepared by ALD

Byung Kook Lee ,  Jun Young Lee ,  Won Mook Chae 외 5명

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2008 .02