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문성남 (서울대학교) 이동언 (서울대학교) 김석범 (서울대학교) 강석환 (서울대학교) 박시환 (서울대학교) 이우일 (서울대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,216 - 4,221 (6page)

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Nano imprint lithography (NIL) is the most promising fabrication technology due to its high resolution, fast throughput, and cost-effective fabrication in science and industry of micro/nano manufacturing. In NIL process, polymer flow and large demolding force arising are important problems for process productivity and final product features. This demolding force can cause fracture and deformation to polymer and mold patterns. Adhesion and friction from mold-polymer contact play key role in the demolding force. In this study, we measured demolding force in NIL process and micro/nano scale force by AFM (Atomic Force Microscopy) experiment for different surface treatments.
#NIL(Nano Imprint Lithography) #Surface Treatment(표면처리) #AFM(원자 힘 현미경) #Adhesion(점착력) #Demolding Force(이형력)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과
4. 논의
5. 결론
후기
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