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학술대회자료
저자정보
최성우 (연세대학교) 이남석 (연세대학교) 강신일 (연세대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
27 - 32 (6page)

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In this study, application of SAM (self-assembled monolayer) to nano replication process as an anti-adhesion layer was presented to reduce the surface energy between the nano stamper and the replicated polymeric nano patterns. To analyze wettability and adhesion force of SAM, contact angle and LFM (Lateral Force Microscopy) were measured at the actual processing temperature for the case of nano compression molding. It was found that the surface energy due to SAM deposition on the nickel nano stamper markedly decreased and the quality of SAM on the nickel stamper maintained under the actual molding environments. Additionally, an experimental method is presented to analyze the temperature dependency of the anti-adhesion property between the nano stamper and the polymer. As a practical example, a correlation between the contact angle of the stamper and the surface quality of the molded substrates as a function of the replication temperature, respectively, was obtained quantitatively. Finally, polymeric nano patterns were replicated using nano replication processes with SAM deposited metallic nano stamper. Measurement of the surface profiles and the surface roughness of the replicated polymeric nano patterns showed the usefulness of the SAM as an anti-adhesion layer in nano molding processes.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과
4. 토의
5. 결론
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