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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
2,670 - 2,675 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2007

연속체 가정을 통한 UV-NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  이동언 ,  박시환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료
연속체 가정을 통한 NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

연속체 가정을 통한 NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  강성용 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

2005

연속체 가정을 통한 Themal-NIL 공정의 전산모사
김승모 ,  강진희 ,  강성용 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Nano imprint lithography(NIL) is a cost-efficient, high-throughput processing technique to transfer nanoscale patterns onto thin polymer films. Polymers used as the resist include the UV cured resin as well as thermoplastics such as polymethyl-methacrylate(PMMA). In this study, an analytic investigation was performed for the process of transferring nano-scale patterns onto polymeric films. Process optimization calls for a thorough understanding of the polymer flow during the process. We carried out two-dimensional numerical analysis of polymer flow during NIL process. The simulation incorporated a continuum-hypothesis, and the effects of surface tension were taken into account. The numerical model also employed a proper viscosity model for the polymeric liquid. For a more effective prediction of the free surface, the fixed grid scheme was used. A parametric study was performed for the process condition. Numerical results were compared with the experimental data. Agreement between two results was acceptable.
#Surface tension(표면장력) #Wall adhesion(벽면흡착) #Polymer(고분자) #Fixed grid(고정격자계) #Lithography(석판술)

목차

Abstract
1. 서론
2. 계산방법
3. 해석 및 토의
4. 결론
후기
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016015474