FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구

송남호 ,  손지원 ,  임성한 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

Nanoimprint 이형 공정에서의 응력에 대한 수치 해석

김동현 ,  김국원 ,  이우영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Cohesive Zone Model 을 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 이형과정 시뮬레이션

손기주 ,  이우일

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

UN 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 이형과정에 대한 유한요소해석

손기주 ,  이우일

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

레지스트 조건에 따른 나노임프린트 Filling 현상

류지형 ,  이재종 ,  정상현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Nanoimprint Lithography 기술의 이해

강신일

전자공학회지

2006 .04

나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프제작과 패턴결함 개선에 관한 연구

박형석 ,  최우범 ,  성만영

전기전자재료학회논문지

2006 .01

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

나노임프린트 리소그래피 공정에서의 잔류층 두께 측정

허정철 ,  김경웅 ,  김광섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .04

나노임프린트를 통한 나노 구조체 제작 및 응용

송희 ,  정희수 ,  박유신 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

몰드형상에 따른 나노임프린트 점탄성 유한요소해석

전상범 ,  김국원 ,  김남웅

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

The UV-Nanoimprint Lithography with Multi-head Nanoimprinting Unit for Sub-50nm Half-pitch Patterns

Jae-Jong Lee ,  Kee-Bong Choi ,  Gee-Hong Kim 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

나노임프린트 리소그래피를 이용한 유기소자용 전극형성에 관한 연구

이종화 ,  홍성훈 ,  이헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Fabrication of Low-cost nanoimprint Mold Using Nanosphere Lithography

Geun-Hee Jeong ,  Jung-Kab Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

나노임프린트 공정에서의 냉각방법 개선에 대한 수치해석

이기연 ,  김국원 ,  전상범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

나노임프린트 공정에서의 충전과정과 잔류층 형성에 관한 연구

이기연 ,  김국원

한국산학기술학회 논문지

2012 .09

나노임프린트 리소그래피 공정에서의 실시간 잔류층 두께 측정 시스템 개발

허정환 ,  김경웅 ,  김광섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2011 .10

유연기판의 나노임프린트리소그래피를 위한 가압 메커니즘 설계

임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

양면 열-나노임프린트를 이용한 극저반사 필름 제조

심영보 ,  여나은 ,  조상욱 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05