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고국원 (선문대학교) 심재환 (선문대학교) 노희진 (선문대학교) 고경철 (선문대학교)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 CICS 2010 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
87 - 88 (2page)

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21세기에 들어와 nano-technology 라고 하는 기술이 부각 되면서 현재 우리나라의 대표적인 산업분야인 반도체, MEMS, 디스플레이 산업분야에서 광부품의 미세가공의 영역이 커지고 있으며, 이러한 미세 부품들의 가공 상태는 부품들은 양산품의 질에 큰 영향을 주기 때문에 미세 부품의 결함 및 불량을 고속으로 3차원으로 검사할 수 있는 측정법이 필요하다.
본 연구에서는 반도체 b ... 전체 초록 보기

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