반도체 bump 측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발

고국원; 심재환; 서상준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 고국원 (선문대학교) 심재환 (선문대학교) 서상준 (NCB Networks)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.11

수록면: 255 - 256 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2013

반도체 Bump 검사를 위한 백색광 주사 간섭계의 고속화

고국원 , 심재환 , 김민영 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013.07 학술저널

2010

반도체 bump 측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발

고국원 , 심재환 , 서상준 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

반도체 bump측정을 위한 고속 백색광 위상 간선계 개발

고국원 , 심재환 , 노희진 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.10 학술대회자료

반도체 bump측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발

고국원 , 심재환 , 노희진 외 1명 정보 및 제어 논문집 2010.10 학술대회자료

2008

백색광 간섭계의 정밀도 향상을 위한 노이즈 제거 방법

고국원 , 조수용 , 김민영 제어로봇시스템학회 논문지 2008.06 학술저널

2007

백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사

고국원 , 고경철 , 김종형 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.04 학술저널

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심재환

소속기관 선문대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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S. J. Seo

소속기관 루미르

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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Deep Learning을 사용한 백색광 주사 간섭계의 높이 측정 방법

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