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저자정보
이덕규 (성균관대학교) 박경애 (성균관대학교) 안종현 (성균관대학교) 이내응 (성균관대학교) 김윤제 (성균관대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.5
수록면
47 - 52 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

ZnO 기반 박막트랜지스터의 기계적 안정성 확보에 관한 연구
이덕규 ,  박경애 ,  안종현 외 2명 대한기계학회 논문집 B권 2011.01 학술저널

2010

ZnO 기반 박막트랜지스터의 기계적 안정성 확보에 관한 연구
이덕규 ,  박경애 ,  안종현 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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실험을 통해 구현한 ZnO 기반의 투명 박막트랜지스터의 기계적 특성을 분석하고 안정성에 대한 확보방안을 제시하기 위해 FEM (Finite Element Method)을 이용하여 bridge 와 패드 부분의 구조해석을 실시하였다. 소자의 유연성 확보를 위해 설계된 bridge 부분의 웨이브 패턴을 구현한 결과 최대 진폭의 크기가 오차 0.5%로 실험값과 유사한 신뢰성 있는 결과 값을 얻어냈다. 이러한 결과를 바탕으로 bridge와 패드 사이에 나타나는 압축 응력을 확인하였으며, 압축 응력 값을 패드에 적용하여 그 변형 정도를 분석하였다. 기계적으로 안정성을 갖는 소자를 설계하기 위해 SiO₂ 절연층위의 ITO 전극과 ZnO 활성층의 위치 및 크기를 예측 하였으며, SU-8 코팅 두께를 조절함으로써 중성 역학 층 (Neutral Mechanical Plane)의 위치와 구조적 타당성에 대하여 분석하였다.
#Transparent Thin Film Transistors(TTFTs 투명박막트랜지스터) #Zinc Oxide(정크옥사이드) #Stretchable Transistor(신축성 트랜지스터) #Flexible display(플렉서블 디스플레이) #SiO₂ Dielectric Layer(SiO₂ 절연층)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. ZnO Based TFTs 제작
3. 수치해석
4. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌

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