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- 발행연도
- 2009.7
- 수록면
- 1,509 - 1,510 (2page)
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This paper presents the design and simulation results of ohmic contact RF MEMS silicon switch with a high isolation at high frequencies along with the position of a contact part, initial off-state and intermediate off-state including the state where a contact part is placed right over a signal line of coplanar waveguide (CPW). The ohmic contact part is connected with comb drives made of high resistivity single crystalline silicon. The released contact part is 30 ㎛ apart from the edge of signal line on the glass substrate along the lateral direction (x-direction) at initial of ... 전체 초록 보기
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