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이용수
Abstract
1 Introduction
2 RF MEMS Switch development
3 Conclusions
References
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미세 간극 수직 콤을 이용한 저 전압 고 격리도 단결정 RF MEMS 스위치
대한전자공학회 학술대회
2005 .11
See-saw Type RF MEMS Switch with Narrow Gap Vertical Comb
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2007 .09
Single crystalline silicon RF MEMS switch for high power applications
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .10
Comb drive를 이용한 SPDT RF MEMS 스위치에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2007 .11
Comb drive를 이용한 RF MEMS 스위치에 관한 연구
전자공학회논문지-SD
2008 .04
저전압 RF MEMS switch의 형상 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
Design of Ohmic Contact RF MEMS Silicon Switch with High Isolation at High Frequencies
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
Fabrication and Characterization of Single Crystalline Silicon (SCS) RF MEMS Switch
한국정보통신설비학회 학술대회
2006 .01
Computation of Beam Stress and RF Performance of a Thin Film Based Q-Band Optimized RF MEMS Switch
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
MEMS RF Switch의 연구동향 및 응용
전자파기술
2002 .04
RF MEMS 스위치의 유전알고리즘을 이용한 최적 설계 및 제작에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
SP12T RF MEMS 스위치에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2009 .11
금/주석 공융점 접합과 유리 기판의 건식 식각을 이용한 고주파 MEMS 스위치의 기판 단위 실장
센서학회지
2011 .01
저전압 고주파 MEMS 스위치
한국정보통신학회논문지
2003 .10
정전 구동형 RF MEMS 스위치의 설계 및 제작에 관한 연구
센서학회지
2010 .01
Design Aspects of a New Reliable Torsional Switch with Excellent RF Response
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2016 .01
Stress Analysis Using Finite Element Modeling of a Novel RF Microelectromechanical System Shunt Switch Designed on Quartz Substrate for Low-voltage Applications
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
RF MEMS 디바이스를 위한 3차원 수직 전기적 연결
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
3-D Vertical Interconnection for RF MEMS devices
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
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