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학술대회자료
저자정보
송은석 (서울대학교) 김용권 (서울대학교) 백창욱 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,505 - 1,506 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2014

열탄성 감쇠 특성을 이용한 높은 Q-지수 비정질 수정 공진자에 관한 연구
송은석 전기·컴퓨터공학부 2014.01 학위논문

2013

수정-수정 접합 및 수정 DRIE를 활용한 웨이퍼 레벨 비정질 수정 원형 공진기 제작
송은석 ,  김용권 ,  백창욱 대한전기학회 학술대회 논문집 2013.10 학술대회자료

2011

비정질 수정 캔틸레버의 식각 공정 최적화 및 Q-factor 연구
송은석 ,  김용권 ,  백창욱 전기학회논문지 2011.02 학술저널

2009

비정질 수정 물질을 기반한 관성센서의 개발
송은석 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료
비정질 수정과 실리콘 마이크로 캔틸레버 구조물의 Q-factor 비교 연구
송은석 ,  김용권 ,  백창욱 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료

2008

다구치 방법을 이용한 비정질 수정 건식 식각 최적화
송은석 ,  정형균 ,  황영석 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, micro cantilevers which are made of two different materials - fused quartz and single crystalline silicon - and have similar dimensions were fabricated and their mechanical Q-factors were evaluated to compare intrinsic damping properties of those two materials. Resonant frequencies and Q-factors were measured for the cantilevers h ... 전체 초록 보기

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