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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.11
수록면
99 - 103 (5page)

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The stiffness of cantilever in Atomic Force Microscopy is generally not determined by the standard mechanical test. Therefore, the probe method of semiconductor property test was applied to the stiffness measurement of the cantilever in this paper. We developed a new measurement system including the sharp probe to be obtained the stiffness of cantilever. Experiments by the probe method were performed finding resistance value of cantilever. The current was applied to the coating surface, and the voltage value was measured by a new measurement system. As a results, the resistance was measured differently along with the dimension and the thickness of cantilever. Therefore, we can know that the probe method could be confirmed the relation with the resistance and the stiffness of cantilever.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 이론적 배경

3. 실험 장치 및 조건

4. 실험결과 및 고찰

5. 결론

6. 후기

참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-018236827