다구치 방법을 이용한 비정질 수정 건식 식각 최적화

송은석; 정형균; 황영석; 현익재; 김용권; 백창욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송은석 정형균 황영석 현익재 김용권 백창욱

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2008 대한전기학회 전기물성·응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집

발행연도: 2008.10

수록면: 129 - 130 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2014

열탄성 감쇠 특성을 이용한 높은 Q-지수 비정질 수정 공진자에 관한 연구

송은석 전기·컴퓨터공학부 2014.01 학위논문

2013

수정-수정 접합 및 수정 DRIE를 활용한 웨이퍼 레벨 비정질 수정 원형 공진기 제작

송은석 , 김용권 , 백창욱 대한전기학회 학술대회 논문집 2013.10 학술대회자료

2011

비정질 수정 캔틸레버의 식각 공정 최적화 및 Q-factor 연구

송은석 , 김용권 , 백창욱 전기학회논문지 2011.02 학술저널

2009

비정질 수정 물질을 기반한 관성센서의 개발

송은석 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료

비정질 수정과 실리콘 마이크로 캔틸레버 구조물의 Q-factor 비교 연구

송은석 , 김용권 , 백창욱 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료

2008

다구치 방법을 이용한 비정질 수정 건식 식각 최적화

송은석 , 정형균 , 황영석 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.10 학술대회자료

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In this paper, optimal DRIE process conditions for fused quartz are experimentally determined by Taguchi method to develop high-performance inertial sensors based on the fused quartz material, which is known to have high Q-factors. Using Si layer as an etch mask, which was formed by previously developed bondi ... 전체 초록 보기

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송은석

소속기관 동의대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 9 이용수 389

정형균

소속기관 마이크로인피니

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 항공우주공학

논문수 10 이용수 417

황영석

소속기관 마이크로인피니티

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 항공우주공학

논문수 7 이용수 472

현익재

소속기관 중앙대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 8 이용수 464

김용권

소속기관 건양대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 240 이용수 8,418

백창욱

소속기관 중앙대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 40 이용수 2,484

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