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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.6
- 수록면
- 495 - 502 (8page)
이용수
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This paper presents the vibration analysis and the performance evaluation of cantilevers with probing tips for non-contact scanning probe microscopy. One of the current issues of the scanning probe microscopy technology is to increase the measurement speed, which is closely tied with the dynamic characteristics of cantilevers. The primary concern in this research is to investigate the relation between the maximum possible speed of non-contact scanning probe microscopy and the dynamic characteristics of cantilevers. First, the finite element analysis is made for the vibration characteristics of various cantilevers in use. The computed natural frequencies of the cantilevers are in good agreement with measured ones. Then, each cantilever is tested with topographic measurement for a standard sample with the scanning speed changed. The performances of cantilevers are analyzed along with the natural frequencies of cantilevers. Experiments are also performed to test the effects of how to attach cantilevers in the piezo-electric actuator. Finally, measurement sensitivity has been analyzed to enhance the performance of scanning probe microscopy.
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[학술지(정기간행물)] - / 1991 / with applicarions to electric
[학술지(정기간행물)] - / 2000 / User's Guide to Autoprobe M5
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Analysis of Dynamic Behavior of Piezoelectric Atomic Force Microscope Cantilever 12 (3) : 187 ~ 194
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Nanoprobe Application Technologies 20 (3) : 5 ~ 14
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Scanning probe microscopy
[학술지(정기간행물)] - / 2000 / User's Guide to Autoprobe M5
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Analysis of Dynamic Behavior of Piezoelectric Atomic Force Microscope Cantilever 12 (3) : 187 ~ 194
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Nanoprobe Application Technologies 20 (3) : 5 ~ 14
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Scanning probe microscopy
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